深圳路維光電股份有限公司

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    大尺寸光罩

    主要應用領域: 1.主要應用于LCD、TFT、CF、TouchPanel、OLED、PDP等平板顯示行業; 2.HDI、FPC等PCB行業。

    1. 詳細信息

    鉻版精度(StandardSize:430mmx430mm)

    精度/級別

    最高精度

    高精度

    中精度

    一般精度

    最小線寬/線縫

    0.75μm/0.75μm

    5μm/5μm

    10μm/10μm

    20μm/20μm

    線條精度

    ±0.15μm(QZ)

    ±0.5μm

    ±1.0μm

    ±2.0μm

    總長精度

    ±0.5μm(QZ)

    ±1.0μm

    ±2.0μm

    ±2.0μm

    圖形位置精度

    ±0.5μm(QZ)

    ±1.0μm

    ±2.0μm

    ±3.0μm

    套合精度

    ±0.5μm(QZ)

    ±1.0μm

    ±2.0μm

    ±3.0μm

    垂直精度

    ±0.75μrad

    ±2.0μrad

    ±3.0μrad

    ±4.0μrad

    鉻版材料 (Photomaskblankphate)

    材料

    SodaLimeGlassQuartz

    最大尺寸

    850mm*1400mm

    常規尺寸

    420mmx520mm,520mm*610mm,520mm*800mm,700mm*800mm,

    800mm*920mm,800mm*960mm,850mm*1200mm,850mm*1400mm

    厚度

    2.3±0.2mm,3.0±0.2mm,4.8±0.2mm,7.8±0.2mm,

    5.0±0.2mm(QZ),8.0±0.2mm(QZ),10.0±0.2mm(QZ)

    鉻膜

    LowReflectanceChrome

    光學密度(λ=450nm)

    BetweenPlates3.0±0.3InPlate±0.3

    反射率(λ=436nm)

    BetweenPlates10±5%InPlate±2%

     


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